激光干涉仪

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系列 : 激光干涉仪

  • 名称:激光干涉仪
  • 型号:SJ6000
  • 品牌:
  • 编号:
服务电话 400-0393-118
>>>技术描述>>>

一、主机

1. 稳频精度:0.05ppm;

2. 动态采集频率:50 kHz;

3. 预热时间:约8分钟;

4. 工作温度范围:(0~40)℃;

5. 存储温度范围:(-20~70)℃;

6. 环境湿度:(0~95)%RH;

二、环境补偿单元

1. 空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃;

2. 材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃;

3. 空气湿度传感器:±5%RH (0~95)%RH;

4. 大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa;

三、线性测量

1. 测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件);

2. 测量精度:0.5ppm (0~40)℃;

3. 测量分辨力:1nm;

4. 测量最大速度:4m/s;

四、角度测量

1. 轴向量程:(0~15)m;

2. 测量范围:±10°;

3. 测量精度:±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m);

4. 测量分辨力:0.1″;

五、平面度测量

1. 轴向量程:(0~15)m;

2. 测量范围:±1.5mm;

3. 测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m);

4. 基板尺寸:180mm可调,360mm可调;

5. 测量分辨力:0.1μm;


八、自动精密转台

1. 型号:WR50;

2. 角度测量范围:(0~360)°;

3. 测量精度:±1″;

4. 分辨力:0.1″;

5. 最高转速:10rpm;

6. 最高跟踪速度:2rpm;

7. 重量:1.9kg;

8. 高度:148mm;

9. 直径:112mm;

10. 通信方式:蓝牙传输;

11. 供电方式:锂电池;

九、正交触发盒

1. 信号输入:差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号;

2. 输出形式:10μs脉冲;

3. 触发延时:0.1μs;

4. 供电电源:12VDC;

十、尺寸重量与供电

1. 便携箱尺寸:613mm×460mm×230mm;

2. 标准配置重量:18kg;

3. 供电电源:(100~240)VAC;

十一、安全要求

激光的安全等级达到Class I要求。


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